用于超高真空環(huán)境應用的電機。

真空電機與普通電機區(qū)別 電機在真空下工作有什么反應 真空環(huán)境怎么散熱 

東莞市臻上機電設備有限公司供應高低溫真空步進電機 ，高低溫真空伺服電機 ，真空位移臺-高低溫真空直線模組滑臺

如何掌控并提高未來對于真空環(huán)境作業(yè)的可靠性和質(zhì)量，避免因高真空環(huán)境而帶來設備無法

工作的問題？

現(xiàn)代工廠，例如LED或OLED的生產(chǎn)中會越來越多涉及到真空環(huán)境；自上世紀90年代起在

晶圓生產(chǎn)過程中廠家設法避免微小灰塵的進入。當今的生產(chǎn)過程如噴鍍（將固體材料物質(zhì)

以粒子的形式在另一物體表面形成一層很薄、精確的涂層）會摻雜空氣中其他物質(zhì)。

為什么不可以將電機直接工作在真空罐中？這樣會比較簡單。普通的電機由于散發(fā)微小粒

子和分子沉淀會污染真空罐。其中的有機物比如潤滑脂，粘合劑，絕緣層和其他物質(zhì)會有氣

體產(chǎn)生，而將普通電機用在真空環(huán)境中會帶來污染真空罐或其他精密儀器的風險。真空環(huán)境

中，普通電機所散發(fā)氣體量，取決于電機自身等級和工作環(huán)境溫度，或許普通的電機可以偶

爾能工作在低真空環(huán)境中，但是在高真空和超高真空環(huán)境中是絕對無法使用的。

所以，在真空環(huán)境下使用電機一定要考慮以下因素：

1、影響散熱空氣對流和傳導這兩種一般情況下最主要的散熱方式已經(jīng)無法成立，只能

通過輻射散熱，散熱效率遠遠低于有大氣的情況。

2、真空放電一些高壓元件在真空環(huán)境（非絕對真空，指低氣壓）中更容易發(fā)生氣體放

電或擊穿現(xiàn)象。如果真空度更高還可能發(fā)生電暈放電等現(xiàn)象。

3、物質(zhì)揮發(fā)可以想象，部分元器件材料的表面物質(zhì)（如鍍膜等）會在真空中加速揮

4、產(chǎn)生「冷焊」現(xiàn)象在沒有空氣的情況下，相互接觸的材料可能會因為分子間作用力

而自動「粘」在一起。這對步進電機等儀器有相當大的影響。

5、部分依賴空氣或氣流的設備無法正常工作，比如風扇之類的東西。

直接將電機用在真空環(huán)境中會代來很多好處，但是對電機也有特殊要求：

電機要能夠承受真空中的高溫，確保電機結構不發(fā)生變化，還有保證自身的精度。

要求如下幾點

1、真空電機的外殼一般都采用不銹鋼材料，確保定位準確，運動過程中不產(chǎn)生任何氣體，

這樣結構的電機也可以工作在一些極端環(huán)境中。

2、此外為了確保電機使用壽命長，無氣體產(chǎn)生，高質(zhì)量的線圈絕緣材料和特種潤滑劑也

是必需的。根據(jù)不同真空度和工作周期，各個部分的優(yōu)化組合也是很重要。

3、真空中的溫度處理需要特別關注的是真空中的溫度處理，由于真空中沒有空氣對流，

熱量只能靠熱輻射和材料的熱傳導來消除。因此為了避免電機過熱，要根據(jù)實際使用的工

作周期，選型中要帶有一定的安全余量。

此外，還可以選擇集成在電機線圈中的溫度傳感器直接測出電機的溫度，通過控制電機的

電流降低電機的問題，對熱量的有效控制可以延長電機的使用壽命。

在真空中使用真空電機最大的好處是減少真空泄露的風險。過程的穩(wěn)定性和可靠性是最重

要的，特別是在工業(yè)生產(chǎn)過程中。電機，根據(jù)不同使用強度，使用一段時間后可能需要考

慮更換軸承，而高質(zhì)量的真空電機在適當?shù)姆雷o和保養(yǎng)下，可以長時間使用。